魏劲松 研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

邮箱：weijingsong@siom.ac.cn

电话：021-69918597

导师介绍：

主要从事激光光刻机设计与研制，光刻胶与工艺、大数据光存储、高速光学显微镜成像等研究。主持国家自然科学基金重大仪器、面上项目，华为技术有限公司Top项目、国家xx8工程项目、中科院重点仪器项目、上海市集成电路专项课题等20余项。在国内外发表论文近150篇，申请国家发明专利近50项，已经授权30余项。受邀在Springer等出版社出版中英文著作3部，研究结果多次被国内外刊物（如Nature Photonics）报道。中国科学院和上海市优秀博士论文评审专家，Springer出版社学术著作评审专家，《光学学报》光刻、成像和光存储领域的主题编辑(TE)，国家和上海市等（人才）项目评审专家。

研究方向：

激光光刻机设计与研制；无机光刻胶与工艺；大数据光存储；高速光学显微成像技术与仪器设计

教育背景：

2004年博士毕业于中国科学院研究生院

工作经历：

2011年8月-至今，中国科学院大学（国科大）博士生导师

2010年11月-至今 中国科学院上海光机所 研究员

2005年11月-2010年10月中科院上海光机所副研究员,硕士生导师

2004年04月-2005年10月中科院上海光机所助理研究员

科研成果及获奖情况：

2005和2010年分别当选上海市科技启明星(A类)和启明星跟踪，获2015年度输出版优秀图书奖，提出的《无极限跨尺度的激光热模光刻与系统集成》获2018年度首届“率先杯”未来创新技术大赛决赛优胜奖（30/625）。

近五年代表性学术专著

1)Jingsong Wei*,Laser Heat-Mode Lithography, Springer (Germany), 2019（入选Springer Series in Materials Sciences 291）

2)Jingsong Wei*,Nonlinear Super-Resolution Nano-Optics and Applications, Springer (Germany), 2015. (入选Springer Series in Optical Sciences 191,该书受到2014年“经典中国国际出版工程资助”，获得2015年度输出版优秀图书奖).

近五年代表性学术论文（*为通讯作者）

1)Tao Wei, Bo Liu*, Wanfei Li, Yun Ling, Jing Hu, andJingsong Wei*, “Direct laser printing color images based on the microstructure modulation of phase change material”,Optics & Laser Technology138, 106895 (2021).

2) Zhen Bai,Jingsong Wei*, “Focusing error detection based on astigmatic method with a double cylindrical lens group”,Optics and Laser Technology106, 145-151 (2018).

3) Tao Wei, Kui Zhang,Jingsong Wei*, Yang Wang, Long Zhang, “Micro/nanolithography of transparent thin films through laser-induced release of phase-transition latent-heat”,Optics Express25, 28146 (2017).

4）Tao Wei,Jingsong Wei*, Kui Zhang, Long Zhang**, “Image lithography in telluride suboxide thin film through controlling virtual band gap”,Photonics Research5(1), 22-26 (2017).

5) Chenliang Ding,Jingsong Wei*, Qisong Li, Xin Liang, Tao Wei, “Extending resolution of scanning optical microscopy beyond Abbe limit through assistance of InSb thin layers”,Optics Letters41, 1550-1553 (2016).